电子行业超纯水设备

  电子行业超纯水设备是用于制备电阻率≥18.2 MΩ·cm（25℃）、杂质含量极低（如TOC≤5 ppb、颗粒≤1个/ml）的高纯度水的关键系统，广泛应用于半导体、集成电路、液晶显示、光伏电池等电子元器件的生产过程中。

  预处理：通过多介质过滤器去除水中的悬浮固体、微粒等；利用活性炭过滤器吸附水中的有机物、余氯等；钠离子软化器降低水的硬度；精密过滤器进一步截留细小颗粒，为后续处理提供合格的进水。

  反渗透：在压力作用下，使水通过半透膜，而溶解的盐类、有机物和微生物等杂质被截留，从而去除水中的大部分离子和有机物，降低水的含盐量和杂质含量。

  电去离子（EDI）：运用电场的作用，使水中离子有序迁移并被去除，进一步提高水的纯度，连续稳定地制备超纯水，无需酸碱再生。

  终端处理：通常包括紫外线杀菌和臭氧处理等，用于杀灭水中的微生物，保证超纯水的生物安全性，还可配备抛光混床等设备，对水质进行进一步精制，以满足电子行业对超纯水的极高要求。

  自动化程度高：配备液位控制系统、高低压水泵压力保护装置、在线水质检测控制仪表和 PLC 可编程控制器，实现无人值守操作，降低人工成本，提高设备运行的稳定性和可靠性。

  水质稳定：采用多种先进的水处理技术和工艺，能够有效去除水中的各种杂质和离子，使出水水质稳定达到电子行业所需的高纯度标准。

  运行成本低：一些设备采用了节能型的设计和技术，如超低压渗透过滤技术、新型电除盐技术等，可降低能耗，同时减少了酸碱等化学药剂的使用，降低了运行成本和对环境的污染。

  维护简便：设备结构设计紧凑，零部件标准化程度高，日常保养、维修等操作简单方便，且设备故障几率较小，可减少设备停机时间，提高生产效率。

  材质优质：在工艺选材方面，通常采用高品质的材料，如全不锈钢管路、超纯水专用管道等，避免设备材质对水质造成污染，保证出水水质

电阻率：≥18.2 MΩ·cm（25℃）

TOC（总有机碳）：≤1-5 ppb

颗粒物：≤1个/ml（粒径≥0.1μm）

微生物：≤0.1 CFU/ml

离子含量：Na⁺、Cl⁻等≤0.01 ppb

溶解氧：≤1 ppb